洁净室粒子超标告警自动分级与处置流程

原文要点

原文为免费n8n模板（作者Swapnil Mandloi）：Gmail Trigger每分钟轮询主题含'EXCURSION'的粒子计数器告警邮件；从正文提取Zone、Tool、Measured Count、ISO Class Limit、Particle Size并算超标倍数；OpenAI（gpt-4.1-mini）输出结构化严重度Minor/Major/Critical及停机建议；按洁净区关键度打Support/Process/Litho-EUV协议层级标签；Minor直接写n8n Data Table记为无需调查；非Minor执行独立调查子工作流（需单独导入并填其workflow ID）并合并结果；需要停机时调内部设备互锁HTTP API并经Telegram通知设施组，否则通知EHS；最终含CAPA编号的结果写入Data Table留痕。

这次做成什么

在本站设计的练习环境里搭一条最小告警分级链：用Gmail测试邮箱收发合成告警邮件，跑通'轮询→解析→AI分级→按区域打标签→Minor直接留痕/Major走停机分支'。互锁API用webhook.site等请求捕捉工具或n8n自身的测试Webhook冒充内部端点，不碰任何真实设备；调查子工作流用一个只做CAPA编号回填的简版代替，并明确这是本站设计。

准备什么

• n8n 1.x账号（含Data Tables功能），能启用Gmail Trigger
• 一个测试用Gmail邮箱，已与真实生产告警隔离
• OpenAI API Key（测试用途）
• Telegram测试机器人与两个测试chat ID
• 一个冒充互锁API的测试HTTP端点（如webhook.site或自建测试Webhook）

具体怎么做

1. 建Data Table并准备测试邮箱

   在n8n新建Data Table（如cleanroom_excursions），列：eventTime(文本)、zone、tool、particleSize、measuredCount(数字)、isoLimit(数字)、ratio(数字)、severity、tier、outcome、capaId。用测试Gmail给自己发几封下方artifacts格式的合成告警邮件。

2. 配置Gmail Trigger轮询

   添加Gmail Trigger节点，Poll Times选每分钟，Filters里Search填 from:你的测试发件人 subject:EXCURSION，凭据连测试邮箱。这是按原文'每分钟轮询主题含EXCURSION'的做法配置。

3. 解析邮件正文算超标倍数

   接Code节点：用正则从邮件text提取Zone、Tool、Measured Count、ISO Class Limit、Particle Size五个字段（正则见下方artifacts）；ratio = measuredCount / isoLimit，保留两位小数；任一字段缺失则把记录标记为parseError并提前结束本分支。输出统一字段名供下游使用。

4. AI分级与区域标签

   接OpenAI节点（模型gpt-4.1-mini，原文明确使用该型号），用下方artifacts中的分级提示词，输入zone/tool/ratio/measuredCount/isoLimit，要求只输出JSON：severity与shutdownRecommended。后接Code节点打tier标签：zone含'Litho'或'EUV'→Litho-EUV；含'Process'→Process；其余→Support。该关键度映射是原文所述三层，具体zone名单按你厂房实际调整。

5. 按严重度分流

   接Switch节点：severity=Minor→Data Table节点直接写行，outcome填'Logged - no investigation required'（沿用原文表述）。非Minor→Execute Workflow节点调调查子工作流；练习版子工作流只接收zone/tool/severity，返回固定JSON{"capaId":"CAPA-TEST-0001","investigation":"模拟调查完成"}，这是本站设计的占位，真实调查逻辑需自行实现或导入原配套子工作流。合并子流程结果后再接IF：shutdownRecommended=true→HTTP Request POST到你的测试互锁端点，body含tool与reason，然后Telegram发设施组chat；否则Telegram发EHS chat。最后把outcome与capaId写入Data Table。

6. 端到端演练与清理

   激活工作流，发三封不同严重度的合成邮件（见example），每分钟轮询一次，逐条核对Data Table写入、Telegram消息、测试互锁端点收到的请求。演练完停用Trigger、删除测试凭据与测试端点。

可直接复制的材料

你是半导体洁净室的环境监控审核助手。输入是一条粒子计数器超标事件的结构化数据。
分级标准：
- Minor：超标倍数小于2，或仅出现在Support类辅助区域且未持续。
- Major：超标倍数2至10倍，或发生在Process关键工艺区。
- Critical：超标倍数超过10倍，或发生在Litho/EUV光刻区，或任何可能影响在制品的事件。
shutdownRecommended：仅当severity为Critical，或Major且事件可能影响正在运行的工艺设备时，输出true，否则false。
只输出JSON，不要输出其他文字：{"severity":"Minor|Major|Critical","shutdownRecommended":true或false,"rationale":"不超过40字的中文依据"}

事件数据：zone={{zone}} tool={{tool}} particleSize={{particleSize}} measuredCount={{measuredCount}} isoLimit={{isoLimit}} ratio={{ratio}}

邮件主题：EXCURSION - Particle Counter Alert
邮件正文：
Zone: Process-Bay-3
Tool: ETCH-207
Measured Count: 4200
ISO Class Limit: 1000
Particle Size: 0.5um

解析用正则（n8n Code节点中逐个match）：
Zone:\s*(.+) 
Tool:\s*(.+)
Measured Count:\s*(\d+)
ISO Class Limit:\s*(\d+)
Particle Size:\s*([\d.]+um)

HTTP Request节点配置：
Method: POST
URL: https://webhook.site/你的测试端点  （练习用，真实环境换成内部互锁控制器地址）
Authentication: None（真实环境按控制器要求配置，原文仅说用HTTP Request鉴权）
Body Content Type: JSON
Body: {"tool":"{{$json.tool}}","action":"interlock","reason":"particle excursion {{$json.severity}}","eventTime":"{{$json.eventTime}}"}

输入与输出示例

本站虚构演示，未实际运行原模板；子流程返回值是本站占位设计。

输入

发一封测试邮件，主题'EXCURSION - Particle Counter Alert'，正文Zone: Litho-EUV-1 / Tool: SCANNER-12 / Measured Count: 25000 / ISO Class Limit: 1000 / Particle Size: 0.5um（超标25倍）

对应输出

解析得ratio=25；AI返回{"severity":"Critical","shutdownRecommended":true,"rationale":"光刻区超标25倍，直接影响在制品"}；tier=Litho-EUV；走非Minor分支，占位调查子流程返回CAPA-TEST-0001；HTTP Request向测试端点发出含SCANNER-12的interlock请求；Telegram设施组收到停机告警；Data Table写入一行，outcome='shutdown executed'、capaId='CAPA-TEST-0001'。

做完检查这些

• Gmail Trigger每分钟触发且只命中主题含EXCURSION的测试邮件，普通邮件不进入流程
• Code节点对样例邮件算出ratio=25，五个字段缺一时能标记parseError并停止该分支
• AI输出严格为JSON且severity只取Minor/Major/Critical三值之一
• Minor邮件（如超标1.5倍、Support区）只写Data Table一行，不触发Telegram与互锁请求
• Critical邮件触发测试互锁端点收到一次POST且Telegram设施组收到消息，Data Table含capaId
• Telegram的EHS与设施两组chat ID不混用，停机告警只发设施组

容易卡住的地方

• 本指南的调查子工作流是本站占位设计；原模板要求单独导入配套调查子工作流并填其workflow ID，本站无法提供该文件内容
• 互锁停机是不可逆的真实操作，正式启用前必须用隔离测试端点充分演练，且确认控制器鉴权方式，原文未给出API细节
• 每分钟轮询在告警风暴时可能重复处理同一邮件，需自行加邮件ID去重，原文未提及去重机制
• 分级阈值2倍/10倍是本站练习参考值，不代表真实EHS规范，实际分级标准必须由你的EHS团队定义
• gpt-4.1-mini调用产生OpenAI费用，免费的是模板本身
• 真实粒子计数器邮件格式与本站样例不同会导致正则全部失配，先用真实样本调试解析节点